Vákuumrendszerek

 

 

 

 A1.10.D11

[Ábra: S. Kar: Optical and Structural Studies of Binary Compounds by Explosive Laser Irradiation and Heat Treatment]

Ahhoz, hogy a megfelelő összetételű és tisztaságú réteget előállítsuk általában vákuum szükséges.

A rétegek előállítása vákuumkamrában történik, ahol először leszívjuk a teret nagy, illetve ultranagy vákuumra, majd ezután engedjük be a reaktív gázt és indítjuk el a réteg növesztését.