Fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD)

A1.10.D10

[Ábra:  http://mmadou.eng.uci.edu/Book/Q_Chap3.htm]

A vékonyrétegek készítésére számos módszert dolgoztak ki. Ebben a fejezetben a vákuumpárologtatással (gőzölés) és a (katód)porlasztással foglalkozunk. Ezek az eljárások a gőzök fizikai módszerekkel történő előállításának (physical vapour deposition, PVD) tágabb körébe tartoznak.