Vékonyrétegek előállítási módszerei

Számos módszerrel lehet vékonyréteget előállítani. A módszerek egy részét nemcsak bevonatok, hanem „önhordó” lemezek és tömbi anyagok előállítására is használják.

Két nagy csoportra lehet osztani az előállítási módszereket aszerint, hogy fizikai vagy kémiai módszerrel állítjuk elő a gőz, illetve folyadék fázist.

A1.10.D09