Tesztkérdések IX.
1. Olvassa el az alábbi bekezdést, és pótolja a hiányzó szavakat!
Vékonyréteg az olyan megjelenési formája, melynél valamilyen lényeges sajátság tekintetében az egyik irány kitüntetett szerepet játszik.
2. Melyik nem a vékonyrétegek jellemző alkalmazási területe?
Optikai.
Elektromos.
Lézerek aktív anyaga.
Mechanikai.
3. Igaz-e a következő állítás?
A beeső fénysugár, a beesési merőleges és a visszavert fénysugár egy síkban vannak.
4. Melyik állítás a helyes?
Az α beesési és β törési szög szinuszának hányadosa a beesési szögtől független, a két közeg (2 és 1) minőségére jellemző állandó, a (1)-es közegnek az (2)-es közegre vonatkozó relatív törésmutatója.
Az α beesési és β törési szög szinuszának hányadosa a beesési szögtől független, a két közeg (1 és 2) minőségére jellemző állandó, a (2)-es közegnek az (1)-es közegre vonatkozó relatív törésmutatója.
5. Melyek a fényveszteség főbb okai?
Abszorpció.
Diszperzió.
Refrakció.
Szórás.
Reflexió.
6. Olvassa el az alábbi bekezdést, és pótolja a hiányzó szavakat!
Interferencia: fényhullámok találkozásakor lejátszódó jelenség, melynek eredményeként keletkező interferenciaképben , vagy figyelhető meg.
7. Mit nevezünk „in situ” rétegvastagság mérésnek?
A kiépülő réteg vastagságának a technológiai folyamat alatti kontrollját.
A réteg vastagságának a technológiai folyamat utáni meghatározását.
8. Igaz-e a következő állítás?
A rezgőkvarcos vastagságmérés alapelve:
Egy kondenzátorrá kialakított SiO2 egykristály lemez rezgésbe hozható, ha egyenfeszültséggel tápláljuk (elektrostrikció). Kellő feltételek mellett az így kialakított rendszer sajátfrekvenciáján rezgésbe hozható.
9. Az alábbiakból melyek utólagos rétegvastagság-mérési módszerek?
Tapintótűs mérés.
Interferometriás mérés.
Rezgőkvarcos vastagságmérés.
Spektrál ellipszometria.
10. Melyek az ellipszometria módszer jellemzői?
Nagy érzékenység.
Gondos minta-előkészítést igényel.
Roncsolásmentes eljárás.
Meghatározhatók vele a réteg optikai állandói (n, k) és a réteg vastagsága.