Mirau-interferometer

[Ábrák forrása: https://en.wikipedia.org/wiki/Mirau_interferometer

http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-27146/ilm1-2013200109.pdf]

Az ábra mutatja az interferométerben a sugármeneteket. A nyalábosztó a fényforrásból érkező nyalábot ketté osztja egy referencia ágra (ez a visszavert nyaláb) és egy minta ágra (ez a mintára áteresztett nyaláb). A referencia nyaláb egy tükörről visszaverődik a féligáteresztő tükörre, ahol visszaverődés után egyesül a mintáról visszaverődő minta nyalábbal és interferencia képet hoz létre. A mintafelület és az interferométer távolságát változtatva interferencia képeket rögzítünk különböző út (fázis) különbségekkel: 0, λ/4, λ/2, and 3λ/4. Ezek az interferogramok függenek a hátték fénytől, a modulációtól és a fázistól. Három ilyen interferogram elegendő minta topológiájának rekonstruálására. A három interferogramra azért van szükség, hogy a felület topológiáját a felületre merőlegesen irányhelyesen tudjuk rekonstruálni.

A Mirau interferométer optikai sugármenete. A referencia nyaláb (5-4-6) és a minta nyaláb (5-7-6) optikai úthossza megegyezik, így fehér fény esetében is alkalmas interferencia létrehozására. A Mirou interferométer elemei: 1. A mikroszkóp lencséje, 2. féligáteresztő tükör, 3. A vizsgálandó minta felület, 4. referencia tükör a referencia nyalábbal, 5. a referencia nyaláb első visszaverődése, 6. a referencia nyaláb harmadik visszaverődése, 7. a minta nyaláb visszaverődése.