Felhasznált irodalom

• Hahn E., Szikora B., Szilágyi M.: Fizikai technológiák, Műegyetemi Kiadó, Bp., (1996)
 
• Maissel, R., Glang: Handbook of Thin Film Technology, McGraw-Hill, NY, (1990)
 
• Takács J.(szerk.): Korszerő technológiák a felületi tulajdonságok alakításában, Mőegyetemi Kiadó, Bp., 2004
 
• Giber J. és szerzıtársai: Szilárdtestek felületfizikája, Mőszaki Könyvkiadó, Budapest, 1987