Tesztkérdések XI.
1. Az alábbiak közül melyek in situ rétegvastagság-mérési módszerek?
Spektrál ellipszometria.
Rezgőkvarcos rétegvastagság mérés.
Interferenciás mérés.
2. Mely optikai függvények határozhatók meg a spektrál ellipszometria módszerrel?
ε2(λ), n(λ), k(λ).
ε2(λ), n(λ), E(λ).
ε1(λ), n(λ), k(λ).
4. Melyek az ismert fényszórási folyamatok?
Rayleigh-szórás.
Stokes-szórás.
Mie-szórás.
Raman-szórás.
5. Olvassa el az alábbi bekezdést, és pótolja a hiányzó szavakat!
Fotolumineszcencia: Az anyag sugárzása feletti többletsugárzása az hullámhossztartományban fény hatására.
6. Milyen információt nyerhetünk Raman spektroszkópia segítségével?
Vékonyrétegek kötésszerkezetének feltérképezése.
Felületi, illetve mélységi homogenitások vizsgálata.
Vékonyrétegek elektronszerkezetének feltérképezése.
7. Igaz-e az alábbi állítás?
Raman spektroszkópiával a vékonyrétegben kialakult belső feszültségekre lehet következtetni.
8. Olvassa el az alábbi bekezdést, és pótolja a hiányzó szavakat!
A mérés menete pásztázó elektronmikroszkóppal: Egy egység segítségével a vékony, nyalábot a vizsgált minta végigvezetjük, azaz pásztázunk.
9. Miről ad információt az XPS módszer?
Csak a minta elemi összetételéről ad kvantitatív információt.
Csak a mintát alkotó atomok kémiai kötéséről ad információt.
Kvantitatív információt ad a minta elemi összetételéről, valamint a mintát alkotó atomok kémiai kötéséről.
1-10 keV.
1-10 eV.
10-15 keV.