Tesztkérdések XI.

Feleletválasztós teszt (több jó válasz)

1. Az alábbiak közül melyek in situ rétegvastagság-mérési módszerek?

Spektrál ellipszometria.

Rezgőkvarcos rétegvastagság mérés.

Interferenciás mérés.



Feleletválasztós teszt

2. Mely optikai függvények határozhatók meg a spektrál ellipszometria módszerrel?

ε2(λ), n(λ), k(λ).

ε2(λ), n(λ), E(λ).

ε1(λ), n(λ), k(λ).


Feleletválasztós teszt

3. Mely jelenségek következnek be, ha a fény az anyag felületéhez ér? 

    

Csak reflexió és abszorpció.

Csak transzmisszió, fényszórás és fotolumineszcencia.

Mindegyik.


Feleletválasztós teszt (több jó válasz)

4. Melyek az ismert fényszórási folyamatok?

Rayleigh-szórás.

Stokes-szórás.

Mie-szórás.

Raman-szórás.



Szókitöltős teszt

5. Olvassa el az alábbi bekezdést, és pótolja a hiányzó szavakat!

Fotolumineszcencia: Az anyag sugárzása feletti többletsugárzása az hullámhossztartományban fény hatására. 

  
Feleletválasztós teszt (több jó válasz)

6. Milyen információt nyerhetünk Raman spektroszkópia segítségével?

Vékonyrétegek kötésszerkezetének feltérképezése.

Felületi, illetve mélységi homogenitások vizsgálata.

Vékonyrétegek elektronszerkezetének feltérképezése.



Igaz-Hamis kérdés

7. Igaz-e az alábbi állítás?

Raman spektroszkópiával a vékonyrétegben kialakult belső feszültségekre lehet következtetni.

Igaz Hamis
Szókitöltős teszt

8. Olvassa el az alábbi bekezdést, és pótolja a hiányzó szavakat!

A mérés menete pásztázó elektronmikroszkóppal: Egy egység segítségével a vékony, nyalábot a vizsgált minta végigvezetjük, azaz pásztázunk.

  
Feleletválasztós teszt

9. Miről ad információt az XPS módszer? 

Csak a minta elemi összetételéről ad kvantitatív információt. 

Csak a mintát alkotó atomok kémiai kötéséről ad információt.

Kvantitatív információt ad a minta elemi összetételéről, valamint a mintát alkotó atomok kémiai kötéséről. 


Feleletválasztós teszt
10. SIMS módszer esetén milyen energiájú nehéz részecskékkel (ionokkal esetleg atomokkal) bombázzuk a vékonyréteg felületét? 

1-10 keV.

1-10 eV.

10-15 keV.