Vizsgálati módszerek

A vékonyrétegek jellemzése nem egyszerű dolog, nem létezik rá abszolút módszer. Általában több módszer használata szükséges és a kapott információkból kell összerakni a vékonyréteg jellemzőit.

A1.11.D03

A1.11.D06

A1.11.D04

A spektroszkópiai módszereket hullámhosszuk szerint szokás csoportosítani. Ezen belül megkülönböztetünk atom-spektroszkópiai módszereket (A) és molekula-spektroszkópiai módszereket (M).

A1.11.D05