Spektrál ellipszometria

A1.09.D32

A spektrál ellipszometria kiváló módszer a réteg optikai függvényeinek és vastagságának meghatározására. Előszeretettel alkalmazzák nagy érzékenysége és roncsolásmentes mivolta miatt.

A módszer a mintáról visszaverődő fénynyaláb polarizációs állapotában bekövetkező változás mérésén alapul.

A módszer részletes ismertetése egy későbbi előadásban történik majd, itt csak megemlítjük, mint az egyik legelterjedtebb módszert a rétegvastagság meghatározására.