Kérdések

Feleletválasztós teszt

1. Milyen paraméterrel jellemezhető egy felület síkszerűsége?

    

Megadható, hogy mennyire tér el maximálisan az ideális síktól a hullámhossz mértékében: λ/x

Felület görbületi sugarával

RMS paraméterrel

RA paraméterrel


Feleletválasztós teszt

2. Milyen paraméterekkel jellemezhető egy felület érdessége?

    

A felületi érdességi skála szerinti besorolással.

Az anyagra jellemző érdesség paraméterekkel.

A felületmegmunkálásra használt csiszolópor szemcseméretével.

Legelterjedtebb az RMS (négyzetgyökös átlag) és az RA (aritmetikai átlag) érték.


Feleletválasztós teszt

3. Melyik a nagyobb: RMS vagy RA?

    

Minden esetben a felülettől függ, hogy melyik érték a nagyobb.

Azonos körülmények közt felvett RMS érték mindig nagyobb mint az RA érték, hiszen az átlagtól jobban eltérő pontok a négyzetre emelés miatt nagyobb súllyal szerepelnek.

Azonos körülmények között az RA érték mindig nagyobb.

Minden esetben megegyeznek.


Feleletválasztós teszt

4. Melyik nem előnye az interferometrikus felületvizsgálatnak?

    

Nagy mérési pontosság.

Nagyon jó felbontás, elérhető a 0,1 nanométer is. 

Rövid mérési idő nagy felületeknél is.

Non-kontakt mérési eljárás, azaz nem kell a felülethez hozzáérni mérés közben, nem roncsolódik a minta.


Feleletválasztós teszt

5. A fázistolásos interferometrikus mérőrendszerben a referencia-ágban a fázist megfelelő intervallumokban léptetve és a jelet integrálva egy célszerű jelfeldolgozási módszerrel megkaphatjuk a mintafelület által okozott fázistorzulást. Ebből a fázistorzulásból kiszámolható a felület transzverzális domborzata. Mekkora a fázistolás mértéke?

    

π

π/2

π/4

2π


Feleletválasztós teszt

6. Milyen módszerekkel nem stabilizálható egy lézer hullámhossza?

    

Két módus intenzitáskülönbségével.

A Lamb dip kihasználásával.

Fabry-Perot etalonnal.

Hőmérséklet-stabilizálással.


Feleletválasztós teszt

7. Mikor van fókuszban a megfelelő objektív?

    

Ha a mintakar hosszabb, mint a referenciakar.

Ha a referenciakar hosszabb, mint a mintakar.

Ha a mintaágban és a referencia ágban lévő optikai úthossz megegyezik. Ilyen esetben interferencia mintázat figyelhető meg.

Ha a felület mintázata élesen kirajzolódik.


Feleletválasztós teszt

8. Milyen z irányú felbontás érhető el egy ilyen felületanalizátorral?

0,1 nanométer

0,1 mikrométer

10 nanométer

1 mikrométer


Feleletválasztós teszt

9. Vizsgálható-e teljesen átlátszó felület az interferometrikus berendezéssel?

    

Nem, mert a teljesen átlátszó anyag túl sok fényt ereszt át, és a detektor telítődik.

Nem.  Minden hullámhosszon teljesen átlátszó felület nem vizsgálható, mert nincs visszavert fény ami interferálhatna. A gyakorlatban ilyen anyag azonban nincsen, az átlátszó üveg is kb. 4%-ot visszaver, ami a mérésekhez elegendő.

Igen, mert az interferométer az anyagon áthaladó fényt használja.

Igen, a méréseket nem befolyásolja, hogy az anyag a ráeső fény mekkora hányadát ereszti át.