Kérdések

Feleletválasztós teszt

1. Melyik nem tartozik egy tipikus vákuumpárologtató berendezés részei közé?

    

Vákuumszivattyú

Vákuummérő

Forrás

Hordozó hűtés

Rétegvastagság-mérő


Feleletválasztós teszt

2. Miért kell akár 270 fokban elhelyezni a katódot a forráshoz képest az elektronsugaras fűtésnél?

    

Azért, hogy a katódból párolgó atomok és a belőlük keletkező ionok minél kisebb eséllyel érjék el és szennyezzék a keletkező réteget.

Azért, hogy a katódból párolgó atomok és a belőlük keletkező ionok minél nagyobb eséllyel érjék el a keletkező réteget.

Azért, mert így egyenletesebb vastagságú réteg építhető


Feleletválasztós teszt

3. Milyen típusú forrást nem használnak vákuumpárologtatáskor?

    

Spirál

Piramis

Tégely

Háló


Feleletválasztós teszt

4. A felsoroltak közül melyik nem illik a molekulasugaras epitaxiára?

    

A kis vákuumban történő rétegleválasztás miatt nem építhető vele tiszta réteg.

Éles átmenettel rendelkező rétegszerkezetek leválasztására alkalmas.

A rétegleválasztás paraméterei pontosan ”kézben tarthatók”.


Feleletválasztós teszt

 5. A felsoroltak közül melyik vákuumporlasztó berendezések nem létezik?

    

Egyenáramú diódás porlasztó

Egyenáramú triódás porlasztó

Rádiófrekvenciás porlasztó

Magnetronos porlasztó

Plazma-porlasztó


Feleletválasztós teszt

6. Mely tulajdonság nem illik a Penning porlasztókra?

    

Porlasztási sebessége 100-1000-szer nagyobb a magnetron nélküli porlasztóknál.

Porlasztási sebessége 10-100-szor nagyobb a magnetron nélküli porlasztóknál.

A céltárgy-anód rendszerből sem elektron, sem ion nem jut ki.


Feleletválasztós teszt

7. Mit nevezünk porlasztási hozamnak?

    

Az összes ion számának és a hatásukra kilépő összes atom számának a különbsége.

Az összes ion számának és a hatásukra kilépő összes atom számának az aránya.

Az egyetlen E energiájú ion hatására kilépő atomok száma.

Az egyetlen E energiájú ion hatására kilépő atomok összes energiája.


Feleletválasztós teszt

8. A felsoroltak közül melyik nem játszik szerepet a turbómolekuláris szivattyú működése során?

    

A hajtóközeg.

Az elektromágneses tér.

Az impulzus átadásának az elve.


Feleletválasztós teszt

9. Mit nevezünk vákuumnak?

    

A vákuum a gázok egy olyan állapota, amelyben a részecskesűrűség kisebb, mint a Föld légkörében.

A vákuum egy teljesen üres tér, semmiféle anyagot nem tartalmaz.

A vákuum a gázok egy olyan állapota, amelyben a részecskesűrűség kisebb, mint a világűrben.


Feleletválasztós teszt

10. A felsoroltak közül melyik típusú vákuummérő nem létezik?

    

Kapacitív

Pirani

Hot-wire

Ionizációs