Röntgen-fotoelektron spektroszkópia (XPS)

Az egyik legelterjedtebb és legközkedveltebb összetétel és az alkotóelemek kötési sajátságait vizsgáló módszer a röntgen-fotoelektron spektroszkópia. A Röntgen-sugárzás kis behatolási mélysége miatt azonban a felülethez közeli tartományt vizsgálja. Az Ar+ porlasztás viszont megváltoztathatja a felületi réteg kötésszerkezetét.

A1.11.D28

[Ábraforrás: Bereznai Miklós: Doktori értekezés (2011)]