Rezgőkvarcos rétegvastagság mérés

A1.09.D25

[Ábra: http://www.anttech.com.tw/qcm-e/principle.htm ]

Rezgőkvarcos vastagságmérés - videó

 

 

 

Forrás: Youtube

Az egyik legpontosabb mérés a rezgőkvarcos rétegvastagság mérés, azonban számos probléma merül fel használata során.

Problémák:

1. A mérőkvarc tömegváltozása korlátozott, egy határon túl a rezgés leáll. A kondenzált réteg eltávolítását jelenti, ami például kémiai marással történhet.

2. Nehéz a hordozó közelébe építeni, ezért álló kvarccal dolgoznak, melyet hitelesíteni kell ez esetben minden technológiára.

3. A kvarc 120 oC felett károsodik (ikresedés), és rezgési tulajdonságai megváltoznak.