Lumineszcencia spektroszkópia

A1.11.D17

Fotolumineszcencia olyan vizsgálati módszer, mely az anyagban levő elektronállapotokról ad információt.

Az anyag lézerrel való megvilágítása során fotont nyel el, így az gerjesztett állapotba kerül. Gyors termalizációs folyamatot követően foton kibocsátása révén ismét alapállapotba kerül. A kibocsátott fotonok jellemzik az anyag elektronállapotainak energia szerinti eloszlását. A félvezető anyagokban a sáv-sáv átmenet mellett a tilossávban levő lokalizált állapotokon keresztül is lejátszódhat sugárzó rekombináció. Ezek a lokalizált állapotok hibahelyekkel, szennyező atomok jelenlétével kapcsolatosak. Így a lumineszcencia spektroszkópia jól használható a vékonyrétegek minőségének jellemzésére. A lumineszcencia gerjesztési spektrumának meghatározásával a vizsgált vékonyréteg abszorpciós spektruma is meghatározható.

A1.11.D18

[Ábraforrás: http://www.horiba.com]