Hagyományos (termikus) vákuumpárologtatás

A1.10.D12

A hagyományos vákuumpárologtatás során a párologtatandó tömbanyagot hevítéssel bontjuk atomjaira. Ezután a részecskék a hordozó felé áramolnak, majd azon lecsapódnak, majd réteget alkotnak.

A1.10.D13

A1.10.D14

[Ábra: Maissel R. Glang: Handbook of Thin Film Technology, McGraw Hill, NY, (1990)]

Általában a tömbanyag hevítését árammal oldják meg, melynek többféle geometriája lehetséges. A legegyszerűbbek a fűtött vezetékek és lemezek. Ha csónakot használunk, akkor hátrányként jelentkezik a szennyeződés a csónak anyagából.