Felhasznált irodalom

• Hahn E., Szikora B., Szilágyi M.: Fizikai technológiák, Műegyetemi Kiadó, Bp., (1996)
 
• Maissel, R., Glang: Handbook of Thin Film Technology, McGraw-Hill, NY, (1990)
 
• Takács J.(szerk.): Korszerű technológiák a felületi tulajdonságok alakításában, Műegyetemi Kiadó, Bp., 2004
 
• Giber J. és szerzőtársai: Szilárdtestek felületfizikája, Műszaki Könyvkiadó, Budapest, 1987
 
• Dr. Vágó György, Plazma Technológiák, Tanulmány, http://www.kfki.hu/elftvakuum/pub/wplazma/tart1.htm#
 
• Konczos Géza, Korszerű anyagok és technológiák, Egyetemi jegyzet, http://www.szfki.hu/~konczos/tanfolyam/