Elektromos vékonyrétegek

Napjainkban már a legtöbb mikroelektronikai szilárdtest eszköz olyan szilícium alapú anyagstruktúrákra épül, melyeket részben, vagy egészében valamilyen vékonyréteg leválasztási technikával készítenek. A múlt század folyamán sikerült hatékony és gazdaságos technikákat kidolgozni, így széles körben elterjedhettek az ipari sorba integrálható vékonyréteg leválasztó rendszerek. Az elektromérnökök részéről folyamatosan egyre jobb minőségű és egyre bonyolultabb szerkezetű vékonyrétegek építését lehetővé tevő eszközökre mutatkozik igény, ami megkívánja a leválasztási technikák gyors, folyamatos fejlődését és a létrehozott anyagok széleskörű vizsgálatát.

A mikroelektronikai alkalmazások területén is széles skáláról beszélhetünk a felhasznált anyagok vonatkozásában.