A kialakuló rétegek szerkezete

A1.10.D08

Ha a réteg növekedése közben diffundálódó atomok energiája kicsi és a diffúzió lassú, akkor a kialakuló rétegek lehetnek amorfak vagy kristályosak.

Ha azonban a diffúzió gyors és a réteget építő atomok energiája nagy, akkor egykristályok növesztése is lehetséges. Ehhez azonban a hordozónak is egykristálynak kell lennie. Ezt nevezzük epitaxiális kristálynövesztésnek.